一种曝光机光源系统
授权
摘要
本申请实施例公开了一种曝光机光源系统，包括：激光光源、光纤、LED光源以及合束器，激光光源输出激光光束，光纤传输所述激光光束，LED光源包括第一LED光源和第二LED光源，分别输出第一LED光束和第二LED光束，合束器进行合束形成第一混合光束，将原本三种LED光束中的一种LED光束替换为激光光束，使得光源系统的输出功率相对更高，并减小三种波长光的重叠部分，减小合束的损耗。并且光纤传输激光光束，使得激光光源可以外置，且光纤的体积较小，使得光源系统体积较小，并有助于激光光源的散热。同时，激光光源外置，可以增加光源系统中LED芯片的数量，进而提高所述光源系统的输出功率。
基本信息
专利标题 ：
一种曝光机光源系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220188013.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
CN216670501U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
郭泽彬高文宏程波涛
申请人 ：
江苏镭创高科光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区五台山路588号科技城工业坊C区1号楼401室，402室
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
张静
优先权 ：
CN202220188013.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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