本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种碳化硅半导体元件的热阻测量夹具，包括底板和固定杆，底板的两侧上方固定连接有固定杆，底板上设置有四个螺孔，且呈矩形设置。该种碳化硅半导体元件的热阻测量夹具，卡块呈倒“L”形，固定板位于连接板的一侧阵列设置有与卡块外侧面相切的凹孔，当碳化硅半导体元件位于两个移动板之间时，当需要对碳化硅半导体元件进行不同位置进行检测时，将连接板上的卡块向连接板的中心移动，对弹簧一进行挤压，使得卡块想远离固定板上的凹孔，从而转动固定板，从而带动碳化硅半导体元件转动，使得碳化硅半导体元件移动到需要检测的位置。