一种PECVD炉管粉尘清理装置
授权
摘要
本实用新型属于太阳能电池制备技术领域，公开了一种PECVD炉管粉尘清理装置。该PECVD炉管粉尘清理装置包括环状管和手柄。环状管的管壁上设有气孔，环状管能够伸入到炉管的内部。手柄能够用于将环状管伸入到炉管中，手柄为管状结构，其一端和环状管连通，另一端的开口用于通入气源，通入手柄的气源能够从气孔吹出。该装置结构简单，操作方便，能够有效清理炉管内壁粉尘污染，有效避免因清理粉尘时间过久而影响生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种PECVD炉管粉尘清理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122864830.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-22
授权号 ：
CN216262498U
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
李永伟刘祖利王春来任良为马政
申请人 ：
横店集团东磁股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市东阳市横店镇工业区
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
杨雪
优先权 ：
CN202122864830.7
主分类号 ：
B08B9/032
IPC分类号 ：
B08B9/032 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B9/00
用专门的方法或设备清洁空心物品
B08B9/02
清洁管道、管子、管子系统或管道系统
B08B9/027
清洁内表面；去除堵塞物
B08B9/032
靠运动流体的机械作用，例如，靠冲洗
法律状态
2022-04-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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