本实用新型公开了一种多路独立供气式PECVD供气沉积系统，其技术方案要点是：包括气相沉积炉，所述气相沉积炉的出料口的一侧安装有烘干箱，所述气相沉积炉的一侧安装有通风组件，所述通风组件的一端连接有加热箱，所述加热箱安装在所述烘干箱的下表面上，所述加热箱内安装有加热丝，所述烘干箱的内侧下表面上安装有第一出风管，所述烘干箱内壁上安装有第一温度传感器，通过加热箱内安装的加热丝有利于对通风组件产生的风进行加热，通过第一出风管从烘干箱的底部散发，通过第二出风管从烘干箱的上方散发，大大提高烘干效率，通过第一温度传感器有利于对烘干箱内部的温度进行监测，提高烘干的精度。