半导体清洗设备化学药液加热器
授权
摘要
本实用新型公开一种半导体清洗设备化学药液加热器，包括由内层管和外层管组成的加热管，安装在内层管中的加热丝，用于密封加热管的密封塞，以及穿过密封塞与加热丝相连的电源线，还包括控制器电源、控制器、报警器以及用于检测加热管是否破裂的传感器，所述报警器、传感器、控制器电源均与控制器相连。本实用新型能够实时监测加热管是否破损，从而及时将加热管从化学药液池中取出，进而保护化学药液和清洗设备。
基本信息
专利标题 ：
半导体清洗设备化学药液加热器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122963267.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-30
授权号 ：
CN216673325U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
黄德雷钟岩峰周博通
申请人 ：
徐州鑫晶半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市金山桥开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122963267.9
主分类号 ：
H05B3/54
IPC分类号 ：
H05B3/54 G08B21/18 G08B3/10
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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