本实用新型揭示了一种全自动半导体化学品药液桶清洗装置包括机架，所述机架包括进料口和出料口，所述进料口至出料口之间设置有辊轮输送线，所述辊轮输送线的上方可移动、可升降地设置有夹持机构，所述夹持机构包括通过夹持气缸控制伸缩的夹爪，所述夹爪内侧可翻转地、对称地设置有翻转座，所述翻转座上设置有真空吸嘴；所述机架上还设置有清洗工位，所述清洗工位包括可升降地设置在辊轮输送线下方的高压喷头，所述高压喷头分别接通去离子水管道和氮气管道。本方案利用全自动半导体化学品药液桶清洗装置实现半导体化学品药液桶的全自动清洗，无需人工清洗，确保了清洗过程的安全性、精确性和清洗效率，同时保证了清洗环境的洁净度。