光罩搬运夹具
授权
摘要

本实用新型公开了光罩搬运夹具,包括夹具壳体,夹具壳体的一侧开口设计,夹具壳体的开口处与一盖板可拆卸连接;下部夹具驱动装置,设置于夹具壳体内部一侧,上部夹具驱动装置,设置于夹具壳体内部的另一侧;控制组件,分别与下部夹具驱动装置和上部夹具驱动装置电连接,用于控制下部夹具驱动装置和上部夹具驱动装置协同工作。根据本实用新型的光罩搬运夹具,通过上部夹具驱动装置和下部夹具驱动装置来驱动上部夹爪臂和下部夹爪臂,调整两夹爪臂的间距大小来适应不同尺寸光罩的搬运,所有的传动组件均藏于夹具壳体内,避免了运动部件产尘污染产品,能够较好地保证夹具在洁净环境中使用,不产生粉尘污染光罩。

基本信息
专利标题 :
光罩搬运夹具
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122993808.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-30
授权号 :
CN216634417U
授权日 :
2022-05-31
发明人 :
陈兵华孙艳杰
申请人 :
深圳亿升激光智能装备有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区第九工业区亿和模具产业基地厂房B2201
代理机构 :
东莞市科凯伟成知识产权代理有限公司
代理人 :
周后俊
优先权 :
CN202122993808.2
主分类号 :
B25J15/00
IPC分类号 :
B25J15/00  B25J15/08  B65G47/90  B65G49/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25J
机械手;装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
法律状态
2022-05-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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