一种光罩转移用夹具
授权
摘要
本实用新型涉及夹具技术领域，尤其涉及一种光罩转移用夹具，包括安装板，以及固定安装在安装板上的夹取腔，所述夹取腔和安装板之间活动安装有两块活动板，两块所述活动板对称安装在夹取腔的两侧，每块所述活动板上均固定安装有两个夹头，两个夹头远离活动板的一端穿过夹取腔的侧壁，位于夹取腔内，所述活动板上固定连接有驱动机构。本实用新型公开了一种光罩转移用夹具，避免了对光罩的大面积接触，减少光罩被污染的几率，同时，通过夹取腔能够在一定程度上对光罩进行定位，能够避免光罩从边缘滑落。
基本信息
专利标题 ：
一种光罩转移用夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122319038.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-24
授权号 ：
CN216609034U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
金龙
申请人 ：
威科赛乐微电子股份有限公司
申请人地址 ：
重庆市万州区万州经开区高峰园檬子中路2号
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄宗波
优先权 ：
CN202122319038.3
主分类号 ：
B25J15/00
IPC分类号 ：
B25J15/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J15/00
夹头
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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