一种用于机械手臂的夹力检测工具及机械手臂
授权
摘要
本实用新型提供一种用于机械手臂的夹力检测工具及机械手臂，所述机械手臂上设置有夹持单元，所述夹力检测工具包括：基座、显示装置和与所述夹持单元匹配的压力感应单元，所述压力感应单元用于检测所述夹持单元的夹力；其中，所述基座表面具有至少一个位置调整安装区，所述压力感应单元位于所述位置调整安装区内；所述显示装置连接所述压力感应单元并显示所述压力感应单元上检测到的夹力大小。本实用新型提供的夹力检测工具及机械手臂能够检测所述机械手臂夹力的大小，从而调整夹力来降低所述机械手臂夹取晶圆时对所述晶圆的影响。
基本信息
专利标题 ：
一种用于机械手臂的夹力检测工具及机械手臂
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123039299.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-06
授权号 ：
CN216488011U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
朱安平陈耀祖谢宗其
申请人 ：
广州粤芯半导体技术有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区凤凰五路28号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯启正
优先权 ：
CN202123039299.6
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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