一种光电测试模组及光电测试系统
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摘要
本实用新型提供一种光电测试模组及光电测试系统。所述光电测试模组用于对具有背照式光电元件的待测晶圆进行测试，其包括基板、多个导电探针及多个电连接键；所述基板具有相对的正面和背面，所述基板的正面包括位于中部的探针区及位于所述探针区外围的电连接区；所述多个导电探针按照预设阵列排布于所述基板的所述探针区形成导电探针阵列，所述多个电连接键分散设于所述电连接区，且每一所述电连接键与一个导电探针电性连接。上述光电测试模组，通过在基板的探针区设置导电探针阵列，并在探针区外围的电连接区设置与导电探针电性连接的电连接键，该光电测试模组的结构简单，且方便对具有背照式光电元件的待测晶圆进行测试。
基本信息
专利标题 ：
一种光电测试模组及光电测试系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123089637.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-09
授权号 ：
CN216622579U
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
龙婧刘广元王荣谭信辉
申请人 ：
杭州海康威视数字技术股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市滨江区阡陌路555号
代理机构 ：
北京博思佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
王茹
优先权 ：
CN202123089637.7
主分类号 ：
G01R31/26
IPC分类号 ：
G01R31/26 G01R1/02 G01R1/04 G01R1/073 G01M11/00 G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/26
•单个半导体器件的测试
法律状态
2022-05-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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