一种真空泵清洗系统及扩散炉
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摘要
一种真空泵清洗系统及扩散炉，用于清洗连接于工艺腔室的真空泵，真空泵清洗系统包括清洗管路，连接于所述真空泵的进气口；储液瓶，储液瓶的出口通过出气管路分别与工艺腔室的腔室进气管路和清洗管路连通；气体输入管路，通过进气管路与储液瓶的进口通过进气管路连通，且通过吹扫管路分别与腔室进气管路和清洗管路连通；控制阀组件，用于分别控制腔室进气管路、清洗管路、吹扫管路、进气管路和出气管路的通断。本实用新型涉及的真空泵清洗系统，通过与储液瓶和真空泵连通的清洗管路以及通过气体输入管路通入的气体携带储液瓶中的蒸汽对真空泵进行清洗，并通过控制各管路的通断，实现对真空泵的自动清洗，避免手动清洗效率低，占用资源多的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种真空泵清洗系统及扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123125820.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216741902U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
于皓洁李建国王旸
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京思创毕升专利事务所
代理人 ：
孙向民
优先权 ：
CN202123125820.8
主分类号 ：
F04B39/00
IPC分类号 ：
F04B39/00 B08B9/093
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B39/00
不包含在F04B 25/00至F04B 37/00组中或与上述组无关的专门适用于弹性流体的泵或泵送系统的零件、部件或附件
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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