本实用新型公开了一种大面积单片集成的平坦化多通道滤光片阵列，从下到上依次包括基底、下层反射膜、介质层、上层反射膜、上包层；所述的基底、下层反射膜、介质层、上层反射膜构成FP腔结构；FP腔结构上涂覆上包层，使滤波片阵列平坦化；所述的介质层呈台阶状。FP腔结构选择透射或者反射模式；透射模式中，上下两层反射膜厚度均不超过30 nm，使得光线可以透射出；反射模式中，其中下层反射膜的厚度需大于等于100 nm，以实现完全反射。本实用新型可以通过一次曝光工艺实现不同滤波片的大面积单片集成，简化工艺流程，降低生产成本，且通过平坦化技术，使得该滤波片表面平整，经久耐用，方便与其他器件进行集成。