本实用新型公开了一种具有烘干储存机构的石英舟清洗设备，其技术方案要点是：包括烘干箱，所述烘干箱的一侧开设有放置槽，所述烘干箱的一侧固定安装有清洗箱；清洗槽，所述清洗槽开设在所述清洗箱的顶面，所述清洗槽的内部设置有放置箱；烘干组件，所述烘干组件设置在所述烘干箱的顶面，用于烘干石英舟，通过安装管把氮气瓶内部的氮气输入到加热箱的内部，通过加热板为氮气进行加热，再通过开启气泵，通过气泵把氮气抽入到输气管的内部在输送至烘干箱的内部，通过一定温度的氮气吹扫可实现快速无污染干燥，且干燥后，可根据需求进行存储备用，不会产生二次污染及损伤，提升了辅材的使用寿命及改善辅材污染造成的优质率下降。