一种碳化硅粉料合成装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种碳化硅粉料合成装置，涉及半导体材料制备领域。本碳化硅粉料合成装置包括坩埚、输送组件和气体供应装置，坩埚包括坩埚腔体和设置于坩埚腔体开口处的盖体；输送组件设置于坩埚腔体内远离盖体的一侧，输送组件包括隔板和输送管，隔板将坩埚腔体沿轴向分隔为第一腔室和第二腔室，输送管连接于隔板并设置在第二腔室内，第一腔室和第二腔室之间通过输送管相连通；气体供应装置与坩埚腔体远离盖体的一端相连，用于向第一腔室供应保护气体。本碳化硅粉料合成装置易于拆卸组装，可根据实际生产需要进行调节，减少了反应过程中杂质的污染，提升了合成碳化硅粉料的纯度。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅粉料合成装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123232209.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216458881U
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
李晨仪张洁王旻峰黄首义
申请人 ：
福建北电新材料科技有限公司
申请人地址 ：
福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
杨勋
优先权 ：
CN202123232209.5
主分类号 ：
B01J19/24
IPC分类号 ：
B01J19/24 B01J4/00 C01B32/984
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01J
化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备
B01J19/00
化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备
B01J19/24
无内部移动元件的固定式反应器
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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