碳化硅粉料合成套件和装置
授权
摘要
本实用新型涉及晶体生长设备领域,具体而言,涉及一种碳化硅粉料合成套件和装置。该碳化硅粉料合成套件包括坩埚桶、坩埚盖以及外套体;其中,坩埚盖与坩埚桶可拆卸地连接;外套体套设于坩埚盖,且包覆坩埚盖与坩埚桶的连接处,外套体包括支撑件,支撑件用于与坩埚盖抵接,以使得外套体与坩埚盖围合成容置腔,容置腔用于容纳由坩埚盖与坩埚桶的连接处溢出的气氛。从而能够通过这样的方式,减少合成粉料的过程中粉料气氛泄漏到热场中,进而能够减缓粉料气氛对热场的腐蚀,从而能够提升热场材料的使用次数,避免因频繁更换热场材料造成的成本增加,以及避免出现无法获得高纯碳化硅粉末的情况。
基本信息
专利标题 :
碳化硅粉料合成套件和装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123269238.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-23
授权号 :
CN216514263U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
周亮亮蔡文必
申请人 :
福建北电新材料科技有限公司
申请人地址 :
福建省泉州市晋江市陈埭镇江浦社区企业运营中心大厦
代理机构 :
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
梁晓婷
优先权 :
CN202123269238.9
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36 C30B1/10 C30B28/02
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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