用于合成碳化硅粉料的坩埚组件

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摘要

本申请公开了一种合成碳化硅粉料的坩埚组件，属于碳化硅粉料制备设置领域。该用于合成碳化硅粉料的坩埚组件，其包括：坩埚，所述坩埚至少设置一个进气孔和至少一个出气孔，所述坩埚用于盛放原料；和多孔石墨片，所述多孔石墨片设置在所述坩埚内，所述多孔石墨片覆盖所述进气孔，所述多孔石墨片的平均孔径低于所述原料的平均粒径，气流从所述进气孔流经多孔石墨片和坩埚内原料后，从所述出气孔流出。该坩埚组件，其多孔石墨片的使用既保证气体能顺利进入坩埚，又保证了粉料不会从气孔或导气管中漏出；该多孔石墨片的设置极大的改善了坩埚内气体的渗透性，有助于稳定坩埚内热场分布均匀；该坩埚组件用于大批量合成碳化硅粉料，且产率高。

基本信息

专利标题：

用于合成碳化硅粉料的坩埚组件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921503513.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-09

授权号：

CN211056727U

授权日：

2020-07-21

发明人：

热尼亚靳婉琪

申请人：

山东天岳先进材料科技有限公司

申请人地址：

山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01

代理机构：

济南千慧专利事务所(普通合伙企业)

代理人：

韩玉昆

优先权：

CN201921503513.9

主分类号：

C01B32/984

IPC分类号：

C01B32/984 F27B14/10