本申请提供一种碳化硅粉料合成装置，包括套筒、坩埚以及输气件，套筒罩设于坩埚外，套筒的内表面与坩埚的外表面共同限定出具有排气部的第一腔室；坩埚包括相连和围板和端壁，围板和端壁共同围成用于储存原料的第二腔室，坩埚还设有连通第一腔室和第二腔室的出气部。输气件被配置为从坩埚的外部延伸至第二腔室内，用于输送气体至第二腔室内。该合成装置能够提高碳化硅粉料的纯度，且高纯碳化硅粉料粒径分布均匀，并且不易存在局部碳化严重的现象，产率高。