一种碳化硅原料合成炉
实质审查的生效
摘要

本发明属于碳化硅合成领域,具体的说是一种碳化硅原料合成炉;包括外壳、中间云母条、上线圈和下线圈;所述外壳的内部设有云母条底座;所述云母条底座的顶面固连有中间云母条;所述中间云母条的表面固连有环绕线圈;所述环绕线圈包括有上线圈和下线圈;所述上线圈和下线圈分别连有中频感应电源;所述环绕线圈的中部位置设有坩埚;通过本发明双线圈感应加热及耦合控制,使得原料的合成区温场径向均匀,轴向温度梯度控制,控制系统稳定性较好,能够高效的进行原料合成,且碳化硅粉合成成本比传统的长晶炉合成成本降低50%,炉内热场中坩埚内部的温度均匀可控。

基本信息
专利标题 :
一种碳化硅原料合成炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114261967A
申请号 :
CN202111490166.2
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2021-12-08
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黎志欣胡动力李扬李占贤廖亚刘景和
申请人 :
连城凯克斯科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市锡山区锡北镇泾虹路15号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202111490166.2
主分类号 :
C01B32/984
IPC分类号 :
C01B32/984  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B32/00
碳;其化合物
C01B32/90
碳化物
C01B32/914
单一元素碳化物
C01B32/956
碳化硅
C01B32/963
通过含硅化合物制备
C01B32/984
通过硅元素制备
法律状态
2022-04-19 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C01B 32/984
申请日 : 20211208
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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