一种坩埚组件及碳化硅粉料合成炉
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本申请公开了一种坩埚组件及碳化硅粉料合成炉,属于半导体材料制备领域。该坩埚组件包括坩埚和导流件,所述坩埚设置一级进气孔;所述导流件设置在所述坩埚形成的坩埚腔内,所述导流件包括设置多个二级进气孔的进气板和分别与所述二级进气孔连通的多个多孔导流管;所述进气板将所述坩埚腔分成缓冲腔和合成腔,原料气进入一级进气孔后沿着缓冲腔、二级进气孔和多孔导流管的路径从多孔导流管的孔隙流至合成腔,并与合成腔内固体原料反应。该坩埚组件及合成炉用于气固合成粉料如碳化硅粉料的粒度不仅均匀,而且可以控制制得特定粒径的粉料。

基本信息
专利标题 :
一种坩埚组件及碳化硅粉料合成炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922370143.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-24
授权号 :
CN211977566U
授权日 :
2020-11-20
发明人 :
李加林李斌张红岩高超刘家朋李长进
申请人 :
山东天岳先进材料科技有限公司
申请人地址 :
山东省济南市槐荫区天岳南路99号
代理机构 :
北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
王宽
优先权 :
CN201922370143.2
主分类号 :
F27B14/08
IPC分类号 :
F27B14/08  F27B14/10  F27B14/12  F27D7/02  C01B32/977  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉;开式烧结设备或类似设备
F27B14/00
坩埚炉或罐式炉;浴炉
F27B14/08
坩埚炉、罐式炉或浴炉特有的零部件
法律状态
2020-12-18 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : F27B 14/08
变更事项 : 专利权人
变更前 : 山东天岳先进材料科技有限公司
变更后 : 山东天岳先进科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250100 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
变更后 : 250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
2020-11-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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