一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件
授权
摘要
本实用新型公开了一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件,包括固定底座、支撑立柱、固定外框、夹持固定组件、辅助定位组件和加热件支撑组件,所述支撑立柱对称设有四个,且四个支撑立柱等距固定安装在固定底座顶部,所述加热件支撑组件固定安装在固定底座顶部,所述固定外框位于支撑立柱顶部,此碳化硅生产用加热坩埚的支架组件,通过设置的夹持固定组件和辅助定位组件,能够对坩埚多方位同时夹持,夹持更加方便稳定,且对多种尺寸的坩埚都能够进行很好的夹持,提高了坩埚支架的适用性,使得在使用不同尺寸坩埚时,更加方便灵活,同时降低了设备的生产使用成本。
基本信息
专利标题 :
一种碳化硅生产用加热坩埚的支架组件
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921053049.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-07-08
授权号 :
CN210559411U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
徐涛程鹏
申请人 :
天津市卓辉电子有限公司
申请人地址 :
天津市东丽区华明高新技术产业区弘晟道2号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921053049.8
主分类号 :
C01B32/956
IPC分类号 :
C01B32/956
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B32/00
碳;其化合物
C01B32/90
碳化物
C01B32/914
单一元素碳化物
C01B32/956
碳化硅
法律状态
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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