一种底盘绝缘的还原炉
授权
摘要

本实用新型涉及一种底盘绝缘的还原炉,属于多晶硅生产技术的技术领域。它包括炉筒和底盘,所述炉筒和底盘之间设置有垫片,并通过法兰连接;所述底盘上安装有电极导电装置;所述底盘上一侧设置有进气管,另一侧设置出气管;所述炉筒和底盘之间的法兰螺栓孔内设置有绝缘套管;所述炉筒和底盘之间的法兰螺栓外侧设置有绝缘垫,所述绝缘垫设置于连接法兰的螺母与法兰盘中间;所述底盘法兰和炉筒法兰之间还设置有绝缘环。本实用新型的一种底盘绝缘的还原炉,炉筒与底盘绝缘,可以快速分析出是炉筒部件问题还是底盘问题,及时调整工艺操作且结构合理,制造过程不繁琐。

基本信息
专利标题 :
一种底盘绝缘的还原炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123253410.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-23
授权号 :
CN216512894U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
孙惺惺单晋王丝雨
申请人 :
江苏双良新能源装备有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市江阴市临港街道西利路115号
代理机构 :
江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
隋玲玲
优先权 :
CN202123253410.1
主分类号 :
C01B33/035
IPC分类号 :
C01B33/035  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素;其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/02
C01B33/021
制备
C01B33/027
使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原
C01B33/035
在存在硅、碳或耐熔金属的热丝情况下,或在存在热硅棒情况下,用气态或汽化的硅化合物的分解或还原
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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