一种电磁复合机械过滤的镀膜装置
授权
摘要
本实用新型提供一种电磁复合机械过滤的镀膜装置，属于离子镀膜技术领域，其包括具有矩形状空腔的离子镀壳体，所述矩形状空腔一端封闭且另一端为开口，靠近封闭一端设有柱状旋转阴极弧源且位于离子镀壳体中心，设有开口的一端为离子出口；所述柱状旋转阴极弧源放电位朝向离子出口方向，所述柱状旋转阴极弧源与离子出口之间设有复合机械挡板组件，所述挡板组件与离子镀壳体内壁设有供沉积离子运动的通道；所述离子镀壳体上固定有电磁线圈组，所述电磁线圈组用于偏转导引柱状旋转阴极弧源产生的离子；本实用新型通过磁场偏转离子，而将颗粒沉积在挡板组件上，同时具有矩形状空腔的离子镀壳体，沉积速率将大幅度提升。
基本信息
专利标题 ：
一种电磁复合机械过滤的镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123304013.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-24
授权号 ：
CN216738506U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
章柯郎文昌张振华张祖航林琪澳
申请人 ：
温州大学;温州职业技术学院
申请人地址 ：
浙江省温州市瓯海区茶山高教园区
代理机构 ：
温州名创知识产权代理有限公司
代理人 ：
程嘉炜
优先权 ：
CN202123304013.2
主分类号 ：
C23C14/32
IPC分类号 ：
C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/32
爆炸法；蒸发及随后的气化物电离法
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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