一种HVPE腔体内部测温装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种HVPE腔体内部测温装置，包括反应腔室，所述反应腔室顶壁设有贯穿反应腔室顶壁的进气管，所述反应腔室底壁设有贯穿反应腔室底壁的出气管；所述反应腔室内顶壁固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆轴线竖直且输出端朝下设置，所述电动伸缩杆输出端固定连接有连接壳体，所述连接壳体底壁设有与出气管相对设置的第一测温件，所述连接壳体侧壁转动连接有转动件，所述转动件上设有与反应腔室侧壁相对设置的第二测温件。本实用新型通过设置第一测温件能够实现对于从出气管排出的气体温度进行检测，通过第二测温件能够实现对于反应腔室侧壁上流动的气体温度进行检测，从而能够更加快速且准确的得出反应腔室内部各处的温度。
基本信息
专利标题 ：
一种HVPE腔体内部测温装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123333354.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-28
授权号 ：
CN216669062U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
谈逊谈谦刘宁波刘才吴曦王占玲
申请人 ：
华厦半导体（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区坪地街道坪西社区龙岗大道(坪地段)1001号通产丽星科技产业园厂房七402
代理机构 ：
合肥市都耒知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何鑫鑫
优先权 ：
CN202123333354.2
主分类号 ：
G01K13/024
IPC分类号 ：
G01K13/024
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01K
温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件
G01K13/024
流动气体的
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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