蒸发台火山口清理箱
授权
摘要
本申请涉及坩埚技术领域,特别是涉及蒸发台火山口清理箱:箱体,箱体的底部和顶部分别以能够打开方式设置有顶盖和底盖;通孔,通孔沿竖向开设在底盖上;伸缩套筒,伸缩套筒外壁与通孔内壁以间隙方式滑动配合;扩口,扩口呈喇叭状结构固设在伸缩套筒上部;限位环,限位环套设在伸缩套筒外壁,且限位环位于底盖下部;通过以伸缩方式设置伸缩套筒,将伸缩套筒下端口直接放在火山口处,对喷出的材料及时收集,避免材料的崩溅造成其他部件的污染;通过设置箱体,能够延长该装置的使用周期,无需每天清理,节省时间,该装置整体上提升了作业效率、降低了安全风险,为企业创造了极好的效益。
基本信息
专利标题 :
蒸发台火山口清理箱
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123345184.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-29
授权号 :
CN216501435U
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
孟恒刘君孔斯
申请人 :
山东晶导微电子股份有限公司
申请人地址 :
山东省济宁市曲阜市春秋东路166号
代理机构 :
济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
苟莎
优先权 :
CN202123345184.X
主分类号 :
B08B15/04
IPC分类号 :
B08B15/04 B08B17/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B15/00
防止污物或烟尘从产生处逸出;从产生处收集或清除污物或烟尘
B08B15/04
从一小范围的,如一设备
法律状态
2022-05-13 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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