一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开一种光学镀膜机的修正板，涉及光学镀膜技术领域，解决了相关技术中修正板在光学镀膜机的腔室内调整不便的技术问题。修正板包括修正板本体、活动板件、导轨、第一驱动组件、第二驱动组件和第三驱动组件，活动板件贴近修正板本体设置，第一驱动组件与修正板本体和导轨连接，第一驱动组件以驱动修正板本体沿导轨移动，第二驱动组件与修正板本体连接，第二驱动组件以驱动修正板本体转动，第三驱动组件与活动板件连接，第三驱动组件以驱动活动板件伸出或缩回修正板本体的范围。可根据生产工艺的实际情况以及变化，在不用打开腔室门的情况下调整镀膜机内修正板的高度和角度，并适时调节其大小，能够满足不同蒸发基材的需求。
基本信息
专利标题 ：
一种光学镀膜机的修正板及光学镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123357206.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216550668U
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
熊凯徐马记康凯
申请人 ：
武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
代理机构 ：
北京众达德权知识产权代理有限公司
代理人 ：
安磊
优先权 ：
CN202123357206.4
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2022-05-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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