一种离子溅射镀膜机修正板机构
授权
摘要
本实用新型涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种离子溅射镀膜机修正板机构。该离子溅射镀膜机修正板机构的膜厚修正板的侧面直接通过修正板固定螺钉固定在阴极磁控靶上，无需电机带动转动，节省了空间和电机的能量消耗，提高了膜厚修正的效率。此外，该离子溅射镀膜机修正板机构结构简单，对镀膜的厚度调节简单准确，适合推广使用。
基本信息
专利标题 ：
一种离子溅射镀膜机修正板机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920998781.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-29
授权号 ：
CN210394506U
授权日 ：
2020-04-24
发明人 ：
常洪兴徐胜
申请人 ：
杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市张家港经济技术开发区福新路2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920998781.6
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-04-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
