一种离子溅射镀膜机的旋转工装
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子溅射镀膜机的旋转工装，属于离子溅射镀膜机设备技术领域，包括第一旋转盘（1）、第二旋转盘（2）、一组连接杆（3）及旋转轴（4），所述旋转轴（4）顶端穿设于第一旋转盘（1）中心，底端与第二旋转盘（2）中心相连且通过连接头（5）与离子溅射镀膜机的旋转电机相连，所述连接杆（3）均匀设于第一旋转盘（1）和第二旋转盘（2）之间，所述连接杆（3）上设有一组均匀分布的挂钩（31）。该种离子溅射镀膜机的旋转工装结构简单，可容纳多个加工件，而且可使加工件表面各表面均能均匀镀膜，可有效提高产品的加工效率和加工质量。
基本信息
专利标题 ：
一种离子溅射镀膜机的旋转工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021906487.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-04
授权号 ：
CN213113481U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
陈泽丰
申请人 ：
镇江晶鼎光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市新区潘宗路38号健康食品产业园13号楼
代理机构 ：
苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李玉婷
优先权 ：
CN202021906487.7
主分类号 ：
C23C14/46
IPC分类号 ：
C23C14/46 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/46
用外部离子源产生的离子束法
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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