一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其为一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机，包括底座和箱体，所述底座上端面固定连接有箱体，所述箱体上端面固定连接有固定箱，所述箱体下端面内侧固定连接有支撑架，所述支撑架上端面固定连接有转动装置，所述固定箱上端面内侧左侧固定连接有升降电机，所述升降电机主轴末端固定连接有螺旋杆，所述螺旋杆下端面固定连接有支撑杆；本实用新型中，通过设置的固定壳、从动齿轮、转动轴和固定台，通过设置的六个从动齿轮可以带动转动轴转动，从而带动固定台上方的基板转动，可以使正电荷的离子均匀轰击阴极表面，使阴极表面材料原子化，从而在试样表面上形成一层均匀的薄膜，保证镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种具有红外加热结构的离子溅射镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021229487.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212610879U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
乔建栋黄坚常洪兴徐胜
申请人 ：
杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港经济技术开发区福新路2号
代理机构 ：
苏州企知鹰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈超
优先权 ：
CN202021229487.8
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/50 C23C14/54
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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