一种三极溅射离子泵结构
专利权的终止
摘要
一种三极溅射离子泵结构，属于真空电子设备领域，它是由一个置于中心的加正电位的阳极、其两侧各有一个加负电位的栅网状阴极、阴极外侧设有零电位的离子收集极组成。栅网状阴极还在栅丝上刻有槽沟。这种带栅网及槽缝状阴极的三极钛泵，呈现出比二极钛泵具有更高的抽气速率和对惰性气体的稳定性，改进了真空器件内部的状态。
基本信息
专利标题 ：
一种三极溅射离子泵结构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720175720.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-09-28
授权号 ：
CN201106064Y
授权日 ：
2008-08-27
发明人 ：
吴华夏邓清东侯信磊赵艳珩李荣任振国
申请人 ：
安徽华东光电技术研究所
申请人地址 ：
241002安徽省芜湖市城南高新技术开发区华夏科技园
代理机构 ：
信息产业部电子专利中心
代理人 ：
李勤媛
优先权 ：
CN200720175720.7
主分类号 ：
C23C14/42
IPC分类号 ：
C23C14/42
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/42
三极溅射
法律状态
2013-11-20 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101541730516
IPC(主分类) : C23C 14/42
专利号 : ZL2007201757207
申请日 : 20070928
授权公告日 : 20080827
终止日期 : 20120928
号牌文件序号 : 101541730516
IPC(主分类) : C23C 14/42
专利号 : ZL2007201757207
申请日 : 20070928
授权公告日 : 20080827
终止日期 : 20120928
2008-08-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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