本实用新型公开了一种带吸气剂的溅射离子复合泵，包括箱体、箱体内安装有溅射离子泵，同时在箱体内还设置了固定形式放置的吸气剂，吸气剂为镀有锆、钒、钛合金的金属薄板，该吸气剂金属薄板在箱内与溅射离子泵相对的另一侧安放，并可多片成折摺平行排列，其横截面成开口矩形、开口梯形或圆弧形状；由于采用了特殊的吸气剂材料，其激活温度低，约为150℃，与超高真空烘烤除气温度相当，不必配备加热装置，吸气剂制成合理的形状与离子泵有机结合，因此本实用新型带吸气剂的溅射离子复合泵抽氢能力提高，故极限真空度大大提高，体积小，质量轻，抽速质量比大。