一种离子溅射镀膜机急削工装
授权
摘要
一种离子溅射镀膜机急削工装，包括：左调节板、右调节板、横梁、支撑板、电机，所述支撑板与横梁为T字形连接，所述支撑板的一端部与横梁的居中处连接；所述左调节板和右调节板对称设置在远离支撑板的横梁的两端；所述电机设置在支撑板的上部远离横梁的一端。本实用新型所述的离子溅射镀膜机急削工装，结构设计简单，易于制造使用；可通过控制靶材裸露的面积来控制薄膜沉积的速率，操作便捷；通过电机控制，其电机原理坩埚，防止电机受到镀膜影响，延长工装的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种离子溅射镀膜机急削工装
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021866888.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-01
授权号 ：
CN213113474U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
商炜
申请人 ：
镇江晶鼎光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省镇江市新区潘宗路38号健康食品产业园13号楼
代理机构 ：
苏州市方略专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李玉婷
优先权 ：
CN202021866888.4
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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