一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰，包括法兰盘，所述法兰盘的外表面设置有梯形滑槽，所述梯形滑槽的内侧安装有滑块，所述滑块的上端安装有支撑保护壳，所述支撑保护壳的外表面安装有第一螺栓柱，所述第一螺栓柱的一端安装有第二螺栓柱，所述法兰盘的一端设置有第一螺纹孔，所述法兰盘另一端设置有密封槽，所述密封槽的外表面设置有第二螺纹孔。本实用新型通过安装法兰盘与纵向水平仪的配合，使得该装置通过纵向水平仪可以调节螺栓固定大小的力量，使其高精度连接，通过安装第二螺栓柱与法兰盘的配合，使得该装置利用第二螺栓柱进行锁紧固定，通过安装密封槽与密封垫的配合，使得该装置密封性强。
基本信息
专利标题 ：
一种离子溅射镀膜机用高精度转换法兰
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921023915.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-03
授权号 ：
CN210176938U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
王凤辉邱艳梁裕
申请人 ：
安徽天匠精密机械有限公司
申请人地址 ：
安徽省滁州市天长市开发区纬三路南侧、经四路西侧
代理机构 ：
北京华仁联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
苏雪雪
优先权 ：
CN201921023915.9
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 F16J15/06
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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