一种用于清洗载盘的清洗槽
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于清洗载盘的清洗槽；所述清洗槽包括：承载多个载盘的内槽以及围设于所述内槽的外槽；其中，所述内槽中固定地设置有至少一根悬挂杆，用于悬挂多个载盘；所述内槽中盛放有能够完全浸没多个所述载盘的清洗液以化学分解所述载盘上的附着异物；所述外槽中设置有超声波清洗单元，用于对所述内槽中的多个所述载盘进行超声波清洗。
基本信息
专利标题 ：
一种用于清洗载盘的清洗槽
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123385940.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216501185U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
徐全
申请人 ：
西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
代理机构 ：
西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈寒酉
优先权 ：
CN202123385940.1
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B9/28 B08B9/22
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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