一种金刚石膜自动制作方法和微波等离子体控制系统
实质审查的生效
摘要
本发明实施例提出一种金刚石膜自动制作方法和微波等离子体控制系统，通过微波等离子体控制系统响应用户操作，从预设的抽取真空流程、启辉流程、升温流程、晶种刻蚀流程、单晶生长流程、降温流程、设备关机流程、晶体清洁流程、腔体清洁流程和排空流程中选择一种，或选择多种任意组合；根据选择的流程进行金刚石膜制作。微波等离子体控制系统根据预设的工艺流程进行金刚石膜制作，能够保证籽晶生长过程的温度、压力和真空值满足设定值，进而保证籽晶表面均匀沉积，并提高生产效率。
基本信息
专利标题 ：
一种金刚石膜自动制作方法和微波等离子体控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114361001A
申请号 ：
CN202210004561.3
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2022-01-04
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李俊宏何磊刘文科韦明勉李家瑞李东亚
申请人 ：
成都沃特塞恩电子技术有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区益州大道中段1800号3栋3层301号
代理机构 ：
北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
孔鹏
优先权 ：
CN202210004561.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C16/27 C23C16/52 C30B25/20 C30B29/04
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20220104
申请日 : 20220104
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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