一种高抑制比背入射AlGaN基日盲探测器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种高抑制比背入射AlGaN基日盲探测器，在蓝宝石衬底背面镀有UVC滤光膜，UVC滤光膜截止波长范围为280nm‑400nm。本发明高抑制比背入射AlGaN基日盲探测器，改进了现有AlGaN基日盲探测器抑制比偏低，在UVA和UVB有微弱响应的不足，通过实践验证，本发明的高抑制比AlGaN基日盲探测器与常规AlGaN基日盲探测器制备工艺兼容，在保证日盲波段量子效率的同时，进一步抑制了AlGaN基日盲紫外探测器在UVA和UVB波段的响应。
基本信息
专利标题 ：
一种高抑制比背入射AlGaN基日盲探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114373809A
申请号 ：
CN202210021438.2
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2022-01-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
周东陆海
申请人 ：
苏州镓敏光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区
代理机构 ：
南京中律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李建芳
优先权 ：
CN202210021438.2
主分类号 ：
H01L31/0216
IPC分类号 ：
H01L31/0216 H01L31/108 H01L31/18
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0216
申请日 : 20220110
申请日 : 20220110
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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