一种氮化铝日盲光电探测器及其制备方法
公开
摘要
一种氮化铝日盲光电探测器及其制备方法，属于半导体光电探测技术领域。本发明以c面蓝宝石为衬底，采用反应射频磁控溅射技术在衬底上生长氮化铝薄膜，然后以“面对面”的退火方式改善氮化铝薄膜的结晶质量，再通过磁控溅射或电子束蒸发的方式在氮化铝薄膜上制备金属叉指电极，最终得到氮化铝日盲光电探测器。本发明制得的氮化铝探测器对波长小于210nm的日盲波段光有着较高的响应，其在50V偏压下的光电流高达291nA，响应度为0.51A/W。本发明工艺流程简单，成本低廉，适合批量生产，制备的氮化铝探测器可应用于日盲光电探测领域。
基本信息
专利标题 ：
一种氮化铝日盲光电探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566566A
申请号 ：
CN202210185150.9
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-02-28
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈占国张文博陈曦孙浩航刘晓航赵纪红刘秀环侯丽新高延军
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
吉林省长春市长春高新技术产业开发区前进大街2699号
代理机构 ：
长春吉大专利代理有限责任公司
代理人 ：
刘世纯
优先权 ：
CN202210185150.9
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/09 H01L31/0304
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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