一种氧化镓日盲光电探测器及其制备方法
授权
摘要
本公开提供了一种氧化镓日盲光电探测器，包括：衬底(100)；多层氧化镓(200)，多层氧化镓(200)堆叠设于衬底(100)的表面；氧化镓(200)与衬底(100)之间、两层氧化镓(200)之间设有纳米厚度电极层(300)。奇数层纳米厚度电极层(300)嵌入氧化镓内部的同时，延伸至氧化镓外部并相互重叠；偶数层纳米厚度电极层(300)嵌入氧化镓内部的同时，延伸至氧化镓外部另外一侧并相互重叠。另一方面，本公开还提供了一种氧化镓日盲光电探测器的制备方法。
基本信息
专利标题 ：
一种氧化镓日盲光电探测器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111710731A
申请号 ：
CN202010571215.4
公开（公告）日 ：
2020-09-25
申请日 ：
2020-06-19
授权号 ：
CN111710731B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
赵晓龙谭鹏举徐光伟侯小虎龙世兵
申请人 ：
中国科学技术大学
申请人地址 ：
安徽省合肥市包河区金寨路96号
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
周天宇
优先权 ：
CN202010571215.4
主分类号 ：
H01L31/0224
IPC分类号 ：
H01L31/0224 H01L31/0232 H01L31/0352 H01L31/108 H01L31/111 H01L31/18 B82Y30/00 B82Y40/00
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2020-10-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/0224
申请日 : 20200619
申请日 : 20200619
2020-09-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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