具有周期性通孔微结构的太赫兹超表面结构及其制备方法
实质审查的生效
摘要

本发明提出一种具有周期性通孔微结构的太赫兹超表面结构及其制备方法,其提出的具有周期性通孔微结构的太赫兹超表面结构由两个形状尺寸大小相同的矩形孔作为一个单元阵列,并周期性阵列排布而成。在制备方法上采用飞秒激光直写技术,在薄膜金属直接进行加工,制造过程简单且迅速,加工效率高,原材料廉价易得,有利于大规模的工业化生产。同时,运用高倍数的聚焦物镜缩小烧蚀面积从而减小加工误差,使实际的加工尺寸更符合设计尺寸,达到所需要的标准。

基本信息
专利标题 :
具有周期性通孔微结构的太赫兹超表面结构及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114374095A
申请号 :
CN202210024121.4
公开(公告)日 :
2022-04-19
申请日 :
2022-01-11
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
黄异曾秋铭钟舜聪林廷玲钟宇杰
申请人 :
福州大学
申请人地址 :
福建省福州市闽侯县福州大学城乌龙江北大道2号福州大学
代理机构 :
福州元创专利商标代理有限公司
代理人 :
丘鸿超
优先权 :
CN202210024121.4
主分类号 :
H01Q15/00
IPC分类号 :
H01Q15/00  H05K3/02  G02B1/00  
法律状态
2022-05-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01Q 15/00
申请日 : 20220111
2022-04-19 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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