本发明公开了一种基于电光预失真器的高线性硅基调制器芯片和高线性方法。该芯片基于硅光集成工艺，集成了一个光功分器、一个主调制器、一个电光预失真器和一个低带宽锗硅光电探测器。输入光信号经光功分器分成两路并分别输入到主调制器和电光预失真器中。射频双音信号经电功分器分成两路，其中一路调制电光预失真器，经片上低带宽锗硅探测器解调出的二阶交调信号放大后与另一路射频双音信号经电合成器调制主调制器。调控光功分器和电功分器的功率分配比，抑制主调制器产生三阶交调信号，提高其调制线性度，从而极大地提高所在模拟光链路的无杂散动态范围。