一种高储能密度宽工作温度成分梯度结构薄膜及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了高储能密度宽工作温度成分梯度结构薄膜及其制备方法，高储能密度宽工作温度成分梯度结构薄膜，包括Nb:SrTiO3基片和成分梯度结构薄膜，所述成分梯度结构薄膜设置于Nb:SrTiO3基片的表面；所述成分梯度结构薄膜为BaHfx1Ti1‑x1O3/BaHfx2Ti1‑x2O3/BaHfx3Ti1‑x3O3薄膜，其中x的取值范围为0.17≤x≤0.32。在制备时通过磁控溅射的方式，利用BaHfxTi1‑xO3薄膜的陶瓷靶材，在Nb:SrTiO3基片表面制备BaHfx1Ti1‑x1O3/BaHfx2Ti1‑x2O3/BaHfx3Ti1‑x3O3成分梯度结构薄膜，之后进行退火，得到所述高储能密度宽工作温度成分梯度结构薄膜。本发明高储能密度宽工作温度无铅薄膜具有储能密度高，宽温范围宽的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种高储能密度宽工作温度成分梯度结构薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114388266A
申请号 ：
CN202210044753.7
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2022-01-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘明马春蕊陆锐
申请人 ：
西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市咸宁西路28号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
姚咏华
优先权 ：
CN202210044753.7
主分类号 ：
H01G4/08
IPC分类号 ：
H01G4/08 H01G4/10 C23C14/08 C23C14/35 C23C14/58
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01G
电容器；电解型的电容器、整流器、检波器、开关器件、光敏器件或热敏器件
H01G4/00
固定电容器；及其制造方法
H01G4/002
零部件
H01G4/018
电介质
H01G4/06
固体电介质
H01G4/08
无机电介质
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01G 4/08
申请日 : 20220114
申请日 : 20220114
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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