一种实现位移和角度同步测量的双波长衍射干涉系统及方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种实现位移和角度同步测量的双波长衍射干涉系统及方法,属于光学测量领域,该系统以光纤光路和空间光路相结合的方式,实现了双干涉仪的近似共光路集成,利用光纤器件代替大部分空间光学元件,实现激光干涉仪的实用化和集成化,有效减少环境因素对干涉仪影响,提高稳定性;采用衍射光栅作为分光元件,实现了双波长混合光束的分离和单波长光束的分光,可同时同步测量两个位置的位移量,进而直接计算出被测目标的偏转角度。因此,本发明系统集成度高、便携性好、抗干扰能力强,可用于复杂环境下高精度位移和角度的同时同步测量。
基本信息
专利标题 :
一种实现位移和角度同步测量的双波长衍射干涉系统及方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114353671A
申请号 :
CN202210044773.4
公开(公告)日 :
2022-04-15
申请日 :
2022-01-14
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张国锋杨树明邓惠文胡鹏宇肖德隆
申请人 :
西安交通大学
申请人地址 :
陕西省西安市咸宁西路28号
代理机构 :
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 :
朱海临
优先权 :
CN202210044773.4
主分类号 :
G01B11/02
IPC分类号 :
G01B11/02 G01B11/26
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
法律状态
2022-05-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/02
申请日 : 20220114
申请日 : 20220114
2022-04-15 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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