一种提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法，其包括对镁锂合金基底预处理及在镁锂合金基底上制备类金刚石碳膜。主要工艺步骤：(1)将镁锂合金板材制成标准试样；(2)试样经砂纸打磨、抛光机抛光后，表面呈现镜面效果，再经去离子水、无水乙醇超声清洗，干燥后放入真空室；(3)达到本底真空度后，通入工作气体氩气(Ar)和氢气(H2)，在激励电场作用下激发成等离子态，然后在偏压条件下对镁锂合金表面进行刻蚀，构造微粗糙表面；(4)通入反应气体乙炔(C2H2)和四甲基硅烷(TMS)，沉积硅掺杂类金刚石碳膜(Si‑DLC)；(5)沉积结束后，经自然冷却后取出样品。通过本发明可以得到与镁锂合金基材具有良好结合力的类金刚石碳膜，进而提升镁锂合金表面耐磨强度，增长镁锂合金使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种提高类金刚石碳膜与镁锂合金基底结合力的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114411123A
申请号 ：
CN202210069148.5
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴明忠李彤吕迎
申请人 ：
佳木斯大学
申请人地址 ：
黑龙江省佳木斯市向阳区学府街258号
代理机构 ：
北京君泊知识产权代理有限公司
代理人 ：
王程远
优先权 ：
CN202210069148.5
主分类号 ：
C23C16/50
IPC分类号 ：
C23C16/50 C23C16/02 C23C16/26 C23C16/30 C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/50
申请日 : 20220121
申请日 : 20220121
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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