一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置
实质审查的生效
摘要

为解决现有技术采用电容法进行间隙测量时电容极板的有效正对面积会引入一定误差以及电容测量过程容易受电磁干扰的问题,本发明实施例提供一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置,包括:45°反射镜,用于设于间隙的一个内壁以改变传播至45°反射镜上的光波的方向;以及光纤,光纤端面用于设于间隙的所述一个内壁;光纤端面用于使光纤中光束的一部分光反射回光纤形成参考光波,光纤端面用于使光纤中光束的另一部分光透过所述光纤端面并直线传播至45°反射镜,以使45°反射镜反射所述光束的另一部分光至间隙的另一个内壁形成用于经45°反射镜反射回所述光纤并用于与参考光波发生干涉的探测光波,以实现对间隙的一个内壁至间隙的另一个内壁的距离的测量。本发明实施例避免了采用电容法进行间隙测量时电容极板的有效正对面积会引入一定误差以及电容测量过程容易受电磁干扰的缺陷。

基本信息
专利标题 :
一种间隙传感器、间隙测量方法及测量装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114440781A
申请号 :
CN202210073673.4
公开(公告)日 :
2022-05-06
申请日 :
2022-01-21
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陶天炯翁继东李成军王翔吴建陈龙马鹤立刘盛刚唐隆煌贾兴马云灿谷伟王为苗志起
申请人 :
中国工程物理研究院流体物理研究所
申请人地址 :
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 :
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
梁田
优先权 :
CN202210073673.4
主分类号 :
G01B11/14
IPC分类号 :
G01B11/14  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/14
用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙
法律状态
2022-05-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/14
申请日 : 20220121
2022-05-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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