用于IC芯片条带的激光打标检测工艺及其设备
实质审查的生效
摘要

本发明公开了用于IC芯片条带的激光打标检测工艺及其设备,涉及激光打标领域,包括:架体;上料模组,设置于所述架体的内侧;机械手模组;激光打标模组;视觉模组;阵列台模组;升降模组;下料模组。本发明通过设置上料模组、阵列台模组、机械手模组、升降模组、下料模组、激光打标模组和视觉模组,可将装载条带、芯片打标、检测条带、分选条带全部自动化,提高了半导体芯片条带的打标检测效率,可以同时对芯片条带外观缺陷做检查,并分类装盘,功能性强;采用多头同时作业,双阵列台交替接受芯片检测,效率高;上料、下料模组采用左右分区结构,可以同时存放两个料盒,同时还能互相交换上料下料方向。

基本信息
专利标题 :
用于IC芯片条带的激光打标检测工艺及其设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114260589A
申请号 :
CN202210079893.8
公开(公告)日 :
2022-04-01
申请日 :
2022-01-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张威张全新权家庆刘正龙陈昊曹凯
申请人 :
铜陵三佳山田科技股份有限公司
申请人地址 :
安徽省铜陵市经济技术开发区黄山大道西侧
代理机构 :
铜陵市天成专利事务所(普通合伙)
代理人 :
范智强
优先权 :
CN202210079893.8
主分类号 :
B23K26/362
IPC分类号 :
B23K26/362  B23K26/70  B23K26/03  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2022-06-03 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/362
申请日 : 20220124
2022-04-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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