一种太阳能电池板生产用硅片加工设备
实质审查的生效
摘要

本发明涉及一种硅片加工设备,尤其涉及一种太阳能电池板生产用硅片加工设备。需要设计一种能够不间断的对硅片进行蚀刻粗粒,工作效率高的太阳能电池板生产用硅片加工设备。一种太阳能电池板生产用硅片加工设备,包括有底座、储液箱和支撑架等,底座中间嵌入式的固接有用于蚀刻液放置的储液箱,储液箱外前后两侧面都固接有支撑架。本发明从右侧将硅片放入转动机构内,启动驱动机构,驱动机构运作带动转动机构间歇正转,转动机构间歇正转带动硅片间歇正转,每当转动机构停止转动时,可从右侧将硅片放入转动机构内,硅片正转至储液箱内时,蚀刻液对硅片进行蚀刻处理,如此,无需不断的启动和关闭,使得蚀刻效率高。

基本信息
专利标题 :
一种太阳能电池板生产用硅片加工设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114464555A
申请号 :
CN202210084140.6
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-01-25
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
吴云静
申请人 :
吴云静
申请人地址 :
江苏省南京市雨花台区古遗井社区古遗井组991号5栋1楼113室
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202210084140.6
主分类号 :
H01L21/67
IPC分类号 :
H01L21/67  H01L21/677  H01L31/18  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20220125
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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