基于二氧化硅/聚合物混合波导的跑道型微环光开关及其制备方...
公开
摘要
一种基于二氧化硅/聚合物混合波导的跑道型微环光开关及其制备方法，属于二氧化硅/聚合物混合波导光集成芯片制备技术领域。从下至上由Si衬底、SiO2下包层、聚合物芯层、聚合物上包层和金属电极组成；聚合物芯层由微环谐振部分和耦合部分组成；微环谐振部分由第一弯曲波导、第一直波导、第二弯曲波导和第二直波导顺次连接组成，构成跑道型结构；耦合部分由输入直波导、第三直波导和输出直波导组成，第二直波导和第三直波导构成定向耦合器；通过在金属电极上施加调制电压，可以实现光开关的功能。光开关具有损耗低、结构紧凑、低功耗、响应速度快、消光比大等优点，在光网络中起到光域优化、路由、保护以及功率均衡等作用。
基本信息
专利标题 ：
基于二氧化硅/聚合物混合波导的跑道型微环光开关及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114296177A
申请号 ：
CN202210086627.8
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2022-01-25
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
尹悦鑫李悦姚梦可许馨如丁颖智吕昕雨张大明
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
吉林省长春市长春高新技术产业开发区前进大街2699号
代理机构 ：
长春吉大专利代理有限责任公司
代理人 ：
刘世纯
优先权 ：
CN202210086627.8
主分类号 ：
G02B6/10
IPC分类号 ：
G02B6/10 G02B6/35 G02F1/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B6/00
光导；包含光导和其他光学元件的装置的结构零部件
G02B6/10
光波导式的
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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