本实用新型提供一种光波导微流体芯片，包括：光波导和微流道，光波导用以将光沿水平方向导入微流道内，还包括：依次由下而上设置的下包层、波导层和上包层，波导层是氮化硅材料，波导层用以形成光波导；微流道由上而下贯穿上包层和波导层延伸进下包层；下包层和上包层均是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，微流道不贯穿下包层、宽度为10‑100μm。具有有益效果：在柔性基底上沉积光学性能可调的氮化硅薄膜，扩展以氮化硅为光学器件材料应用的范围和形式，生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。