一种芯片级集成式法布里珀罗光学MEMS加速度传感器
实质审查的生效
摘要
本发明涉及微电子机械系统技术领域，尤其涉及一种芯片级集成式法布里珀罗光学MEMS加速度传感器，包括由下到上依次设置的激光器驱动芯片、Vcsel激光芯片、法布里珀罗MEMS加速度敏感芯片、敏感光电检测芯片和前置放大芯片，所述Vcsel激光芯片的两侧水平对称设置有第一参考光电检测芯片和第二参考光电检测芯片，所述Vcsel激光芯片、第一参考光电检测芯片和第二参考光电检测芯片均设置于激光器驱动芯片上。本发明实现了芯片级集成，具有体积小、功耗低、稳定性高、易于三轴集成的优势；此外，该方案同时具备参考和敏感光电检测芯片，使得加速度传感器具有高的分辨率。
基本信息
专利标题 ：
一种芯片级集成式法布里珀罗光学MEMS加速度传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114414845A
申请号 ：
CN202210094930.2
公开（公告）日 ：
2022-04-29
申请日 ：
2022-01-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
韦学勇赵明辉李博齐永宏蒋庄德
申请人 ：
西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市咸宁西路28号
代理机构 ：
西安通大专利代理有限责任公司
代理人 ：
王艾华
优先权 ：
CN202210094930.2
主分类号 ：
G01P15/093
IPC分类号 ：
G01P15/093 B81B7/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01P
线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T）
G01P15/00
测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变
G01P15/02
利用惯性力
G01P15/08
用变换成电或磁量
G01P15/093
采用光电法取样
法律状态
2022-05-20 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01P 15/093
申请日 : 20220126
申请日 : 20220126
2022-04-29 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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