用以防止HDP-CVD腔室电弧放电的先进涂层方法及材料
实质审查的生效
摘要
本文中所述的实施方式涉及用以减少(例如在HDP‑CVD、PECVD、PE‑ALD及蚀刻腔室中)腔室电弧放电的装置及涂覆方法。所述装置包括用于涂覆材料的原位沉积的环形气体分配器，及包括环形气体分配器的处理腔室。所述环形气体分配器包括环形主体，所述环形主体具有设置于环形主体的第一侧面上的至少一个气体进口及设置在环形主体的第一表面上的多个气体分配口。所述多个气体分配口被布置在多个均匀分布的行中。所述多个均匀分布的行的第一行中的多个气体分配口被调适为以与多个均匀分布的行的第二行中的多个气体分布口的出口角不同的出口角引导气体。
基本信息
专利标题 ：
用以防止HDP-CVD腔室电弧放电的先进涂层方法及材料
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551206A
申请号 ：
CN202210097874.8
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2016-10-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
琳·张路雪松安德鲁·V·勒吴昌锡
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN202210097874.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C16/505 C23C16/455 C23C16/34 C23C16/40
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20161026
申请日 : 20161026
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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