本发明公开了一种等离子体处理腔室的电弧的检测方法及检测装置，所述方法包括：通过一个射频功率源向等离子体处理腔内输送射频功率，点燃等离子体处理腔内的反应气体形成等离子体；发送射频功率源的输出功率信号和反射功率信号到一个控制器，控制器根据所述输出功率信号的和反射功率信号的比值确定是否进入射频功率稳定输出区间；在射频功率稳定输出区间内，通过控制器计算获取反射功率信号的平均值、反射功率信号的最大值；并将反射功率信号的平均值和反射功率信号的最大值进行比较获得一个比值，比值小于一个预设阈值时判定发生弧光放电。本发明实现了快速检测到有真空反应腔内电弧中的微弧，以便及时得知对应的晶圆的缺陷状态的目的。